配资网app官方最新版本介绍北方华创申请半导体工艺设备的控制方法及半导体工艺设备专利, 实现晶圆均匀刻蚀

金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备的控制方法及半导体工艺设备”的专利配资网app官方最新版本介绍，公开号CN120413465A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明提供了半导体工艺设备的控制方法及半导体工艺设备；其中，在该方法中，首先获取工艺任务的工艺配置信息，并根据工艺配置信息生成工艺路径；然后控制半导体工艺设备按照工艺路径对晶圆进行循环加工，直至完成工艺任务。上述控制方式中，对于工艺任务，通过控制半导体工艺设备按照工艺路径对晶圆进行循环加工，并在每次循环中对晶圆进行旋转刻蚀，从而实现了晶圆均匀刻蚀，提高了晶圆的工艺加工质量；此外，通过工艺路径还实现了半导体工艺设备连续自动执行工艺任务，从而提高了半导体工艺设备的产能。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1105次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

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